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PX 500

PX 500 – Beschreibung

Das für OEM-Anwendungen entwickelte Element PX 500 ist für die genaue Positionierung von kleineren Komponenten über einen, für Piezoantriebe verhältnismäßig großen Stellweg konzipiert. 

Aufgrund des kleinen Aufbaus kann der PX 500 auch als funktionelle Antriebseinheit integriert werden. Der Grundaufbau des Aktors besteht aus einem Piezoelement und einem spielfreien Übersetzungssystem mit Festkörpergelenken.

Der PX 500 eignet sich ideal für die Mikropositionierung optischer Komponenten, wie z. B. Spiegel und Laserdioden, oder für das Öffnen und Schließen von Mikrofluidventilen. 

Der PX 500 ist sehr kompakt und kann einfach mittels einer der vorhandenen Bohrungen (2,2mm Durchmesser) montiert werden. Die zweite Bohrung bewegt sich im Verhältnis zur ersten Bohrung.

Technische Daten

EINHEITPX 500
Art. #S-605-89
AchseX
Verstellbereich im Open-Loop (±10%)*μm500
Auflösung Open-Loop**nm1.2
Maße (L x B x H)mm52 x 20 x 8
Gewichtg14
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen. **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

PX 400

PX 400 Beschreibung

Das Festkörpergelenkgelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 400-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 400-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Besonders im Bereich der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens bewährt sich der Positioniertisch PX 400 aufgrund seiner sub-nm Auflösung, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 400PX 400 SGPX 400 CAP
Art. #T-108-00T-108-01T108-06
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm400
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm320320
Auflösung Open Loop**nm0.8
Auflösung Closed Loop**nm84
Maße (L x Bx H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.7 x 48 x 20
Gewichtg175175210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 200

PX 200 – Beschreibung

Die Festkörpergelenks- und Parallelogramm-Konstruktion des PX 200 erzeugen parallele und spielfreie Bewegung auf der X- und Z-Achse. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 200-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Diese Systeme eignen sich besonders für Applikationen bei denen eine präzise und fein abstimmbare Positionierung verschiedenster Komponenten erforderlich ist, z. B. in der Halbleiterindustrie, Elektronik, Messtechnik und Mikrobiologie.

Technische Daten

EINHEITPX 200PX 200 SGPX 200 CAP
Art. #T-106-00T-106-01T-106-06
AchseXXX
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm200
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm160160
Auflösung Open-Loop**nm0.4
Auflösung Closed-Loop**nm42
Maße (L x B x H)mm52 x 48 x 2052 x 48 x 2070.5 x 48 x 20
Gewichtg175180210
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 100

PX 100 – Beschreibung

Das Festkörpergelenksystem und die Parallelogrammkonstruktion der PX 100-Piezotische ermöglichen eine Bewegung ohne mechanisches Spiel. Sie bieten eine wesentlich höhere Auflösung als dies mit mechanischen oder elektromechanischen Systemen möglich ist.

Der PX 100-Tisch kann problemlos mit XY- und Kippsystemen kombiniert werden, die eine Positionierung mit mehreren Freiheitsgraden ermöglichen.

Der PX 100 kann mit integrierten Messsystemen ausgestattet werden, die die Hysterese kompensieren. Abhängig von der genauen Systemkonfiguration ist eine genaue Wiederholgenauigkeit im unteren Nanometerbereich möglich.

Aufgrund der integrierten mechanischen Vorspannung können diese Systeme dynamisch betrieben werden. Sie eignen sich daher gut für Scananwendungen in der Optik, Halbleitertechnik und molekularbiologische Anwendungen.

Technische Daten

EINHEITPX 100PX 100 SG
Art. #T-104-00T-104-01
AchseXX
Bewegung im Open Loop (±10%)*μm100100
Bewegung im Closed Loop (±0,2%)*μm80
Auflösung Open Loop**nm0.20.2
Auflösung Closed Loop**nm2
Maße (L x B x H)mm40 x 40 x 2040 x 40 x 20
Gewichtg8590
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PX 38

PX 38 – Beschreibung

PX 38-Produkte sind einachsige Positioniertische mit einem Bewegungsbereich von bis zu 38 Mikrometern. Aufgrund der Festkörpergelenke und der dadurch gebildeten Parallelogrammkonstruktion werden parallele und spielfreie Bewegungen erzeugt.

Aufgrund ihrers ultrakompakten Designs können sie einfach in OEM-Anwendungen integriert werden. Die Genauigkeit des Piezotisches basiert auf den leistungsstarken Stapelaktoren.

Aufgrund ihrer sub-nm Auflösung bewährt sich dieser Positioniertisch für Anwendungsbereiche wie die Präzisionspositionierung von optischen Komponenten wie Spiegeln und Laserdioden, die Justierung und Montage in der Halbleitertechnik und Elektronik sowie Anwendungen in der Messtechnik, Qualitätssicherung und Mikrobiologie.

Technische Daten

Series PXEINHEITPX 38PX 38 SG
Art. #T-101-00T-101-01
AchseXX
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm39
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm32
Auflösung Open-Loop**nm0.07
Auflösung Closed-Loop**nm0.7
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 1840 x 40 x 25
Gewichtg4077
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.