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PZ 400 OEM

PZ 400 OEM – Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 400 OEM Piezotisches erzeugt ein parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auflösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 400 OEM dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 400 OEMPZ 400 SG OEM
Art. #S-628-00S-628-01
AchseZZ
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm400400
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm320
Auflösung Open-Loop**nm0.80.8
Auflösung Closed-Loop**nm8
Maße (L x B x H)mm66 x 20 x 2466 x 20 x 27.5
Gewichtg155175
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller).
**Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PZ 400

PZ 400 – Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 400 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich, den Piezotisch PZ 400 dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 400PZ 400 SG
Art. #T-118-00T-118-01
AchseZZ
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm400400
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm320
Auflösung Open-Loop**nm0.80.8
Auflösung Closed-Loop**nm8
Maße (L x B x H)mm52 x 48 x 28.552 x 48 x 28.5
Gewichtg155175
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PZ 200

PZ 200 – Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 200 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 200 dynamisch zu betreiben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 200PZ 200 SG
Art. #S-626-00S-626-01
AchseZZ
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm200200
Stelweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm160
Auflösung Open-Loop**nm0.40.4
Auflösung Closed-Loop**nm4
Maße (L x B x H)mm50 x 16 x 1750 x 16 x 21
Gewichtg140165
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

PZ 38

PZ 38 – Beschreibung

Die durch Festkörpergelenke gebildete Parallelogrammkonstruktion des PZ 38 Piezotisches erzeugt eine parallele und spielfreie Bewegung in der X- und Z-Achse. Dadurch entsteht eine weitaus höhere Auslösung als bei anderen mechanischen oder elektromechanischen Geräten.

Der Piezotisch kann direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Weiterhin ist es möglich den Piezotisch PZ 38 dynamisch zu betrieben.

Er kann mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

Technische Daten

EINHEITPZ 38PZ 38 SGPZ 38 CAP
Art. #T-102-00T-102-01T-102-06
AchseZZZ
Stellweg im Open-Loop (±10%)*μm38
Stellweg im Closed-Loop (±0,2%)*μm3232
Auflösung Open-Loop**nm0.08
Auflösung Closed-Loop**nm0.70.7
Maße (L x B x H)mm25 x 25 x 1840 x 40 x 2532 x 25 x 22
Gewichtg4077100
*Typische Werte gemessen mit NV 40/3 Controller (closed-loop: NV 40/3 CLE Controller) **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.

nanoSX 800

nanoSX 800 Beschreibung

Der nanoSX 800 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für lange Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einer Innenapertur von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination zu einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten bewegen. Dieses Design sorgt für extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert die Einschwingzeit.

Der nanoSX 800 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösende Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamische Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Technische Daten

EINHEITnanoSX 800nanoSX 800 CAPnanoSX 800 CAP Digital
Art. #T-128-00T-125-06ET-128-06D
AchseXXX
Stellweg im Open Loop (±10%)*μm900900900
Stellweg im Closed Loop (±0,2%)*μm800800
Auflösung**nm1.644
Maße (L x B x H)mm60 x 20 x 6060 x 30 x 7560 x 30 x 75
Gewichtg300410410
*Typische Werte gemessen mit ENV40 nanoX Controller **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.