PXY 100 – Beschreibung
Die PXY 100 Serie nutzt Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung, um eine spielfreie, hochparallele Bewegung in X- und Y-Richtung zu ermöglichen. Damit werden Auflösungen erreicht, die jene mechanischer und elektromechanischer Präzisionsführungen weit übertreffen.
Die Piezo-Positionierer der Serie PXY 200 lassen sich problemlos mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen der verschiedensten Hersteller kombinieren. Optional werden Systeme mit integrierten Wegsensoren (DMS, CAP) angeboten, um Hystereseeffekte zu korrigieren. Kryo- und Vakuumausführungen sind optional verfügbar.
Die Positioniersysteme können dynamisch betrieben werden und eignen sich sehr gut zum Einsatz bei Scanfunktionen.
Technische Daten
EINHEIT | PXY 100 | PXY 100 SG | PXY 100 CAP | |
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Art. # | T-203-00 | T-203-01 | T-203-06 | |
Achse | X, Y | X, Y | X, Y | |
Stellweg im Open-Loop (±10%)* | μm | 100 | 100 | 100 |
Stellweg im Closed-Loop (±0.2%)* | – | 80 | 80 | |
Auflösung Open-Loop** | nm | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Auflösung Closed-Loop** | – | 2 | 1 | |
Maße (L x B x H) | mm | 40 x 40 x 20 | 60 x 60 x 21 | 65 x 65 x 20 |
Gewicht | g | 102 | 175 | 300 |