Der Nanopositionierer PXY 40 D12 wurde für Pixelshifting, STM und AFM Anwendungen entwickelt. Das Design der Piezoantriebe wurde speziell den Anforderungen für “Line Scans” angepasst, welche präzise Bewegung und Positionierung erfordern.

Ein zentrales Ziel beim Entwerfen des PXY 400 D12 war eine kurze Einschwingzeit nach einem Sprung oder einer Positionsänderung. Die Systeme sind für eine hohe Resonanzfrequenz und hohe Steifigkeit in den Bewegungsachsen XY optimiert.

Für spezielle Anwendungen können die Systeme für eine minimale Abweichung auf der Z-Achse bei Bewegung in XY optimiert werden.

Der nanoSXY 400 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für große Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einem freien Innendurchmesser von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination mit einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo-Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten mit einer Auflösung von 0.6 nm bewegen. Dieses Design sichert extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert aktiv die Einschwingzeit. Der nanoSXY 400 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im Closed Loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamischer Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Der nanoSXY 120 kombiniert die hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit eines Piezo-Positioniersystems mit einem speziellen Antriebsdesign für große Verfahrwege. Der Tisch bietet ein kompaktes Design mit einer Höhe von lediglich 20 mm, Außenmaßen von nur 60 x 60 mm und einem freien Innendurchmesser von 12,5 mm.

Durch die ultraflache Bauweise des Tisches und die einfache Kombination mit einem XY-Scansystem eignet sich das System für eine Vielzahl von Anwendungen.

Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesigns der Serie nanoX kann diese hohe Lasten mit einer Auflösung von 0.25 nm bewegen. Dieses Design sichert extreme Führungsgenauigkeit ohne Störbewegungen und verbessert aktiv die Einschwingzeit. Der nanoSXY 120 kann mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung im closed-loop erlauben.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Messtechnik, X- und XY-Scanning sowie dynamischer Positionierung. Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführungen verfügbar.

Die PXY 200 Serie nutzt Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung, um eine spielfreie, hochparallele Bewegung in X- und Y-Richtung zu sichern. Damit werden Auflösungen erreicht, die die Auflösung mechanischer und elektromechanischer Präzisionsführungen weit übertreffen.

Die Piezo-Positionierer der Serie PXY 200 lassen sich problemlos mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen der verschiedensten Hersteller kombinieren. Optional werden Systeme mit integrierten Wegsensoren (DMS, CAP) angeboten, um Hystereseeffekte zu korrigieren.

Die Positioniersysteme können dynamisch betrieben werden und eignen sich sehr gut für den Einsatz bei Scanfunktionen.

Der kompakte PXY 102 Piezotisch erreicht im Open-Loop-Betrieb bis zu 100 µm Stellweg auf der X- und Y-Achse. Das einzigartige würfelförmige, mechanische Design ermöglicht spielfreie, parallele Bewegungen.

Der PXY 102 eignet sich für zahlreiche Applikationen, von der Forschung optischer Systeme bis hin zu OEM-Systemen. Die Ausrichtung von Sonden in Mikroskopen erfordert in der Regel eine Apertur für den Durchgang von Licht. Der freie Innendurchmesser von 40 mm macht diesen Piezo-Positionierer besonders für diese Anwendungen interessant.

Hohe Steifigkeit und präzise Linearität der Bewegung machen den PXY 102 ideal für hochpräzise Anwendungen im Nanometerbereich in der Optik, Lasertechnik und allen anderen Arten von hochauflösenden Positionieranwendungen.

Piezoelektrische Aktoren können sehr viel schneller und mit einer höheren Genauigkeit auf eine Signaländerung reagieren, als motorisierte Antriebe. Jede Achse kann separat im Closed-Loop-Modus gesteuert werden. Optional kann ein Sensorsystem integriert werden, welches die Genauigkeit im Nanometerbereich garantiert. Simultane Bewegungen in XY-Richtung sind möglich. Kryo- und Vakuumausführungen sind optional verfügbar.