Das 3D Piezo-Positioniersystem miniTRITOR zeichnet sich besonders durch sein einzigartiges Design aus. Mit der enorm kompakten Konstruktion ermöglichen die Piezoelemente zuverlässige, spielfreie, parallele Bewegungen in X-, Y- und Z-Richtung. Der Stellbereich liegt trotz der minimalen Abmessungen bei bis zu 38µm pro Achse. Die erreichbare Auflösung liegt im sub-nm Bereich.
Die miniTRITOR-Piezoelementelassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.
Technische Daten
EINHEIT
miniTRITOR
Art. #
T-401-00
Achsen
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
38
Auflösung Open-Loop**
nm
0.07
Maße (L x B x H)
mm
19 x 19 x 16
Gewicht
g
57
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
Der einzigartige 3D-XYZ-Nanopositionierer microTRITOR nutzt extrem kompakte Elemente, um eine Parallelbewegung ohne mechanisches Spiel zu erreichen. Trotz der minimalen Abmessungen können Bewegungen von bis zu 9 µm auf allen drei Achsen realisiert werden. Die Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Der microTRITOR kann einfach mit anderen mechanischen oder elektromagnetischen Positioniersystemen höchster Auflösung kombiniert werden. Aufgrund seines Designs eignet sich der microTRITOR für dynamische Anwendungen.
Technische Daten
EINHEIT
microTRITOR
Art. #
T-400-00
Achsen
X, Y, Z
Stellweg im Open-Loop (±10%)*
μm
9
Auflösung Open-Loop**
nm
0.02
Maße (L x B x H)
mm
15 x 15 x 15
Gewicht
g
12
*Typische Werte mit NV 40/3 CLE Controller gemessen. **Die Auflösung ist nur durch das Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt.
